二手 KLA / TENCOR P12 #9358965 待售
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KLA/TENCOR P12晶片測試和計量設備是一種自動化缺陷檢測系統,旨在保證半導體晶片在制造過程中的質量。該單元使用各種檢測和測量技術來識別晶圓材料中的任何缺陷。它能夠檢測和測量晶圓中的各種粒徑、形狀和不同類型的缺陷,如線緣/空間可變性、空隙、顆粒、劃痕和汙染。KLA P 12是一種先進的設備,包括裝有晶圓處理和測繪機的檢查模塊、檢查工具和成像工具。該工具具有20nm分辨率,是高端工藝控制和無缺陷晶片所必需的。該工具采用多模式晶片處理資產,可提供晶片的精確移動、精確定位和對準。該成像模型包括光場和光場照明陣列與直接光學顯微鏡。該設備能夠實時高分辨率的晶片圖像來檢測和測量表面的不規則性、缺陷和粒子。TENCOR P-12配備了強大的缺陷分析軟件,能夠檢測和分類顆粒和缺陷的大小和形狀。系統還可以識別晶圓的重要特征,如器件密度、線寬和厚度變化。軟件可以將設備統計信息與期望值進行比較,並在出現任何不合格情況時向操作員發出警報。該單元還包括用於詳細流程報告監控和歸檔的關鍵數據存儲和報告生成功能。總體而言,KLA/TENCOR P-12是一種功能強大的晶圓測試和計量機器,旨在通過檢測和測量晶圓上的顆粒和缺陷,最大限度地提高半導體產量。其20nm的分辨率、強大的缺陷分析軟件以及數據存儲/報告生成功能使其成為任何半導體制造業務的寶貴資產。
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