二手 KLA / TENCOR P15 #293645079 待售

KLA / TENCOR P15
ID: 293645079
Surface profiler.
KLA/TENCOR P15是一種最先進的晶圓測試和計量設備,旨在確保生產超大型集成(ULSI)系統時的最高產量。KLA P-15提供高性能、非接觸晶片檢測,快速準確地測量半導體器件的幾何和電氣參數。TENCOR P 15具有一個氣動掃描儀,該掃描儀以極高的速度無接觸移動晶片,從而可以一次測量晶片表面的大面積。TENCOR P15利用高分辨率成像系統來捕獲晶圓表面的圖像。然後,該單元將分析圖像以測量陣列的精度、設備尺寸和位置,以及一般的表面地形。還可以測量晶體管的電阻、電容、電感等電特性。KLA已將領先技術融入到機器中,以確保盡可能的最佳產量。例如,KLA P15采用高分辨率光學剖面儀,能夠測量小至0.02微米的元件。它還采用了高功率激光光斑減小工具,可以精確探測小幾何特征而不會損壞它們。TENCOR P-15還具有自動晶片分析功能,能夠進行詳細的視覺和統計缺陷分析。它可以檢測微妙的缺陷,如劃痕和微坑,速度高達14,400點每秒。此外,它還可以檢查性能參數,如工藝性能、焊料凸點高度和平坦度。這些功能使KLA/TENCOR P 15成為最強大可靠的系統之一。它旨在滿足和超越最嚴格的生產環境的需求,同時使制造商確信正在高效、準確地收集重要的測試數據。
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