二手 KLA / TENCOR P15 #293653975 待售

KLA/TENCOR P15晶片測試和計量設備是一種高精度工具，旨在幫助識別和表征半導體晶片上的缺陷，如異常或汙染。適用於多種光刻和計量工藝，包括亞50納米器件制造。該系統配有兩個大視場光頭，提供高空間分辨率的全場檢查。該單元包括先進的軟件算法，以實現快速準確的缺陷檢測和分類。KLA P-15還包括集成計量，允許在整個晶圓表面自動測量臨界尺寸、線寬和覆蓋。TENCOR P 15配備了雙圖像捕獲模塊（DICM），這是一個模塊化的高分辨率成像機，能夠同時進行明場和暗場成像。DICM提供了關鍵的高分辨率光學成像,用於精確的缺陷分析,從而能夠自動分析晶圓上的缺陷區域、形狀和位置。KLA P 15還配備了Advanced Smart Cartridge （ASC），提供智能掃描能力。ASC允許對整個晶片表面進行徹底和系統的掃描。先進的晶片表面缺陷檢測算法，包括符合ISO 2645的稀疏和密集缺陷檢測，嵌入在工具中。KLA/TENCOR P-15包括一個結果分析模塊,它提供了強大的圖像比較和缺陷分類工具。Results Analysis模塊可以自動檢測和分類缺陷,以及測量關鍵尺寸、線寬和叠加。P-15可以配置為自動審查過程,從而能夠對多個晶片上的缺陷數據進行全面分析。資產還包括一個廣泛的報告能力，以便為所有與缺陷相關的活動提供審計跟蹤。TENCOR P-15晶圓測試和計量模型為半導體晶圓的檢測、分類和測量提供了全面的解決方案。雙圖像捕獲模塊、模塊化的高分辨率成像設備以及先進的軟件算法，能夠對缺陷及其相關特性進行快速、準確、透徹的分析。KLA/TENCOR P 15適用於制造標準設備和50 nm以下設備,並為所有與缺陷相關的活動提供審核跟蹤。