二手 KLA / TENCOR P15 #293735654 待售

KLA/TENCOR P15是KLA公司開發的晶圓測試和計量設備。它是一個通用、全自動的系統，旨在精確測量大容量半導體器件的關鍵尺寸、覆蓋和均勻性。該單元能夠測量各種尺寸和高精度的特征，使其適用於光學和電氣晶片測試和計量應用。KLA P-15機采用大幅面舞臺，可以容納各種尺寸不超過8英寸的基板。這樣可以確保晶片的精確定位和對準,以便進行測試和測量。該工具能夠測量晶圓尺寸從0.2um到25um的特征。它還能夠測量各種層，包括閘門、接觸層和互連層。TENCOR P 15資產包括各種復雜的軟件工具，使操作員能夠快速測量和分析晶圓上的組件。這些工具包括高分辨率、快速掃描成像傳感器和微觀定位階段。該成像傳感器能夠以高放大倍率捕獲晶片的圖像，而微微定位級則能夠精確定位和對準晶片以進行精確測量。TENCOR P15模型還采用了先進的激光散射計，能夠測量器件在晶圓上的覆蓋和均勻性。激光散射儀測量設備與基板的相對覆蓋層，以改進工藝控制。此外，利用這一特性，設備可以檢測到晶片上層層和特征沈積的誤差。除了激光散射儀外，KLA P15系統還包括多種其他傳感器，包括視覺傳感器和電容傳感器。這些工具用於測量晶圓上的各種參數，如電氣均勻性和層厚度。然後使用此信息創建綜合報告以進行分析和審查。總體而言,P-15單元是一種高度復雜、易於使用的工具,用於快速準確地測試、測量和監視半導體器件。它配備了多種軟件和硬件功能，使用戶能夠以高精度和高精度分析其晶片。KLA/TENCOR P-15機被強烈推薦用於所有大容量半導體器件的測試和測量應用。