二手 KLA / TENCOR P15 #293798607 待售

KLA/TENCOR P15晶圓測試和計量設備是一種最先進的工具，旨在為半導體技術提供一套全面的計量。KLA P-15采用了獲得專利的雙檢測激光技術和OptiSpec手冊cup™使系統能夠同時測量高分辨率物理缺陷和高級參數化測量,包括線寬、臨界尺寸和叠加。高速直線生成的先進激光束結合了免費的激光光學和數字信號處理提供了單束精度。獲得專利的雙檢測激光技術也使該單元能夠以較低的運行成本以高性能運行。該機器配備了七個掃描範圍選項,沿x軸可達20 mm,沿y軸可達8 mm,允許對感興趣的樣品進行多次測量。此外,TENCOR P 15還配備了具有單色偏移運動控制功能的機械掃描儀,能夠精確定位和輕柔地傳送樣品。P15也針對快速、高效的操作進行了優化。該工具可以很容易地設置和編程，使其適合在實驗室和生產環境中使用。對機載掃描引擎進行了優化，以達到最大吞吐量，包括先進的糾錯算法和低噪聲設計，以確保精確、可重復的結果。此外,KLA/TENCOR P 15還配備了光學可變芯片（OVC）和模具安裝臺（DMT）,有助於確保測量數據盡可能準確地反映樣品上的測量結果。此外，TENCOR P-15視覺檢查光學器件允許對小至0.1微米的特征進行高分辨率成像和計量。資產的集成處理單元由Autodrive™提供動力,有助於簡化樣品準備和分析過程。總體而言，KLA/TENCOR P-15晶圓測試和計量模型是為半導體技術而設計的先進計量工具，提供卓越的精度、速度和準確性。該設備允許在一次掃描中進行多次測量，並配有高分辨率成像和計量光學、先進激光技術和數字信號處理。此外，系統配置了光學可變芯片和模具安裝臺，以確保最高精度和可重復性。