二手 KLA / TENCOR P15 #293809526 待售

KLA/TENCOR P15是為半導體工業設計的先進晶圓測試和計量設備。該系統配備了高分辨率攝像機和圖像處理軟件，使其能夠高精度地準確檢測和測量晶片上的缺陷。該單元還配備了多傳感器和多測量技術，使其能夠進行多種測量類型，包括厚度、平坦度、裂紋檢測和三維成像。這臺機器是圍繞一個內聯檢測體系結構構建的，該體系結構具有集成的進紙器、接線器、映射級和晶圓級塗層。此體系結構消除了任何傳輸步驟,允許進行高通量晶圓測試。此外,工具的高級成像算法會根據形狀、對比度和大小等參數來識別和分類缺陷。這一體系結構還簡化了雙工具操作，使KLA P-15能夠在沒有復雜資產重新配置的情況下對單個晶圓進行檢查和測量。該型號還配備了KLA C系列檢驗計量軟件，具有先進的計量能力和周期時間優化軟件。此軟件使用戶能夠執行廣泛的檢查,包括邊緣排除、線寬確定、CD平面度、CD輪廓、蝕刻深度、薄膜厚度和CD傾斜。此外，該軟件還提供了用於工具到工具和模式到模式相關的魯棒算法，以及統計過程控制和產量分析。TENCOR P 15能夠測量所有半導體材料上的體積結構和器件結構，包括矽、氙和砷化的。此外,它的自動校準和產品級別工作流大大縮短了設置時間,使用戶能夠快速啟動和運行設備。該系統還配備了高性能的空氣軸承級，提供光滑的晶圓運動和精確的晶圓定位。總體而言，P15是設計用於半導體工業的先進晶圓測試和計量裝置。機器的高分辨率相機和圖像處理軟件能夠準確檢測和測量各種不同晶片上的缺陷。此外，它內置的多傳感器和多測量技術使它能夠在單個晶片上執行各種不同的測量。此外,該工具的TENCOR C系列檢驗和計量軟件提供了強大的計量功能和周期時間優化軟件,使用戶能夠快速、輕松地進行基本和復雜的檢驗。