二手 KLA / TENCOR P15 #293825144 待售
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單擊可縮放
ID: 293825144
晶圓大小: 8"
Surface profiler, 8"
Semiconductor wafers
Thin-film heads
Precision-machined and polished surfaces
Ceramics for micro-electronics
Glass for flat panel displays
Optical surfaces
Measurement range: 100Å (0.4 min), 300µm (11 mils)
Vertical resolution: 0.5, 2 / 10Å
Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR P15晶圓測試和計量設備是一種最先進的高通量計量系統,旨在檢測半導體晶圓。它配備了先進的光學計量學技術、高分辨率成像能力,以及功能強大的計算機處理器,可以實現極其快速準確的計量學結果。該單元用於對未加工和加工過的晶片進行各種晶片測試和分析。這些測試包括缺陷檢查、應力分析、設備表征、產量管理和臨界尺寸測量。KLA P-15機利用分辨率為5 nm的650 nm激光反射光測量來檢測和分析缺陷。通過捕獲和分析晶片的圖像,TENCOR P 15工具可以識別和測量線寬等缺陷和特征,以及異常。KLA/TENCOR P 15的高速光學和成像系統能夠每小時提供高達25,000個晶圓測量結果,從而能夠快速檢查大量晶圓。資產的快速捕獲功能,加上強大的分析和數據分析算法,使其能夠快速評估設備性能和可靠性等關鍵參數。KLA P 15型號還集成了一系列復雜的自動化工具,使客戶能夠輕松定制操作並優化吞吐量。傳統上困難且耗時的檢驗過程現在可以自動完成,以最大限度地提高生產效率。TENCOR P-15晶圓測試和計量設備是為需要高精度、高精度和快速計量性能的半導體行業和遊行研究實驗室而設計的。其先進的自動化功能,加上高分辨率的成像功能,使其成為高級計量過程的理想選擇。
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