二手 KLA / TENCOR P15 #9004295 待售
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ID: 9004295
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 2005
Wafer surface inspection system, 4"-8"
P/N: 00151-000
PC Configuration:
CPU: Pentium III-C 650 MHz processor
Memory: 128M
20 GB HDD
1.4MB 3.5” Floppy disk drive
OS: Windows NT 4.0
Application software: Version 6.3
Performance requirement:
Vertical range: 0-300 um
Stylus force: 1-50 mg
Constant stylus force control
Dual view optics (sideview: 95-410x, topview: 115-465x)
Black and white camera
Stylus: 2.0 um radius
2005 vintage.
KLA/TENCOR P15是一種晶圓測試和計量設備,專為高效晶圓測試和監測各種半導體產品的制造過程而設計。它是一個多傳感器系統,可用於計量應用,如橫截面分析、形狀和表面分析,以及用於測試工作流程。這個單元提供了廣泛的技術,從光學顯微鏡、白光幹涉測量、手寫筆測量到電氣測試、熱電測試和聲學顯微鏡。KLA P-15機具有先進的成像、圖像處理和分析技術的結合。該工具可以檢測晶片的物理特性,如地形、均勻性和電阻。它還提供了廣泛的表征參數,包括模具尺寸、螺距、形狀和平坦度。TENCOR P 15資產配備了一系列自動化功能,使半導體工藝在制造過程中更容易受到最佳監控。通過利用這種模型來監測晶片在制造過程中的戰略要點,制造商可以在需要時盡早采取糾正措施。該設備還具有跟蹤和調整晶圓參數的實時系統,以確保產品的一致性。該單元為開發復雜晶圓制造檢驗提供了可靠的數據采集、圖像處理和分析工具。它能夠從顯微鏡中捕獲電子圖像並將數據處理到報告或CAD圖像中,或者運行自定義算法來評估粒子計數、蝕刻速率、邊緣質量和產量。這臺機器配備了邊緣檢測算法和算法,將小粒子和較大的缺陷信號分開。它可以進行高速、準確的測試,提供晶圓的精確、全面的表征。KLA/TENCOR P 15擁有廣泛的能源來源,包括原子力顯微鏡(AFM)、光刻和等離子體蝕刻。數據采集工具支持各種圖像和表征模式,並提供標準格式的輸出。它甚至可以與其他測試設備集成,以補充過程控制。總之,KLA P 15是一種先進的晶圓測試和監測資產,旨在進行高效的制造監測。其強大而全面的功能提供了全面的表征和反饋系統,以提高生產線的可見性。此模型在最小化制造過程中的缺陷、提高產量以及降低成本和提前時間方面極為有用。
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