二手 KLA / TENCOR P15 #9128280 待售

KLA/TENCOR P15是一種晶圓測試和計量設備，設計用於支持半導體制造過程。它具有測量集成電路的電性能以及晶圓表面地形的能力。該系統包括高分辨率顯微鏡，用於識別裂紋、顆粒汙染、空隙等多種缺陷。KLA P-15的專用照明單元使操作員能夠以極高的放大倍率創建樣品的詳細圖像。TENCOR P 15設有六軸運動級，使其可以在晶圓表面的精確點進行多次測量。機器使用先進的光學剖面儀，以高分辨率測量晶片上各個圖樣的地形深度、寬度和坡度。這些測量提供了電路電氣參數的詳細信息，包括電阻、電容和其他電氣特性。另外，P 15具有內置掃描電子顯微鏡（SEM）功能，可以檢測出極特異的缺陷，如汙染和不完全痕跡。SEM能夠探索納米級的互連，提供有關晶圓特性的詳細信息，而不是傳統光學測量所能提供的。KLA P 15的軟件包括一套高級圖像處理算法，允許對圖像進行自動分類和排序。這樣可以大大減少體力勞動，比人工檢查給出更準確的結果。該軟件可以檢測到難以在視覺上識別的細微缺陷。KLA/TENCOR P 15是半導體制造中測試和計量的通用且功能強大的工具。它可以非常精確地測量各種電氣和地形參數，並以高分辨率檢測微妙的缺陷。此外,它的自動圖像處理算法可以使繁瑣的手動任務更加高效,並有助於確保準確的結果。這使得TENCOR P15半導體生產質量控制的理想工具。