二手 KLA / TENCOR P15 #9159741 待售

KLA/TENCOR P15是一種用於分析半導體晶片的晶片測試和計量設備。該系統使用先進的自動化計量技術來檢測晶圓上可能在制造過程中造成的缺陷。KLA P-15設計用於掃描整個晶片，甚至檢測晶片表面最小的缺陷。該單元還可以檢測和分類晶圓表面的任何像差，如厚度變化和表面結轉。該機采用內置色差校正的高分辨率光學顯微鏡，以最高精度對晶片進行多點掃描。該工具還可以配備高級算法，旨在自動識別任何異常模式並與預定的標準模式進行比較。該資產還集成了偏光顯微鏡，以提供更高的吞吐量和檢測精度。該模型提供了一個直觀的用戶界面，以便於操作。它包括對任何缺陷進行人工審查的集成視頻檢查。實時晶圓映射和自動聚焦控制等功能可實現快速、輕松的掃描。設備的深度學習能力為晶圓圖提供了直觀的三維概述，可以用來識別晶圓中的任何一種缺陷。除缺陷檢測外，該系統還可用於其他類型的臨界測量。它為薄膜厚度、線寬和顆粒密度等測量提供了準確的結果。也可用於分析通氣、溝槽、接觸孔、柱子等結構。它還提供了薄膜平整度和傾斜測量等計量能力。TENCOR P 15的集成SPC工具允許統計過程控制和早期發現可能導致產品質量問題的潛在問題。這些信息可用於深入分析和持續改進過程。該單元還提供了許多其他功能,例如遠程支持、數據歸檔和自動報告。總體而言，KLA P 15是一種綜合性晶圓測試和計量機器，旨在提高工藝效率和產量，同時提供準確的缺陷檢測。該工具直觀的用戶界面和強大的計量功能使其成為半導體行業的理想工具。