二手 KLA / TENCOR P15 #9265341 待售

KLA/TENCOR P15是一種晶圓測試和計量設備，用於半導體制造設施中的過程控制和缺陷檢查。它使用自動光學檢查半導體晶圓並測量元素變化、地形和金剛石分布。KLA P-15利用各種傳感器，如捕獲晶圓圖像的CCD（帶電耦合器件）和用於掃描表面的激光。它執行多個測量,包括表面粗糙度和地形以及缺陷檢查。TENCOR P 15設計用於高速、高精度的檢測，采樣率為400 WPH（晶圓每小時），分辨率為1.5 um。它具有5nm的測量精度，具有檢測亞微米缺陷位點和整個晶圓過程變化的能力。系統還具有多種通信協議，如網絡、串行和SCSI接口，允許集成到現有的生產環境中。TENCOR P-15單元旨在提高半導體制造商的成本，因為它旨在減少生產所需的時間和材料。機器配備了「智能評級」功能，允許基於用戶定義的統計評級做出最佳通過/失敗決策，最終導致拒絕次數減少，成本降低。P 15還有一個自動校準程序，通過在短短幾分鐘內獲得測量設置、校準和配方來簡化晶圓檢查。總體而言，KLA P 15是半導體生產的強大工具，可以節省時間、金錢和提高產量。其高精度、高速的檢測能力提供準確一致的測量，並產生更可靠的結果。自動校準、集成功能和智能評級功能可提供經濟高效的缺陷檢查和過程控制,從而提高生產效率。