二手 KLA / TENCOR P15 #9293535 待售

KLA/TENCOR P15是一種用途廣泛、成本效益高的晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體工藝的需要。它為多達8個″、12個″甚至更大的晶片提供了廣泛的晶片表征和測量功能。該系統利用先進的激光、光學和機械元件來測量關鍵晶片屬性,包括表面粗糙度、臨界尺寸、輪廓、線緣粗糙度和其他臨界特性。KLA P-15是圍繞一個大型舞臺和成像光學器件設計的，允許用戶精確掃描和捕獲晶圓表面。光學元件經過優化配置,以最大限度地提高成像性能,而激光器則用於提供精確的測量數據。該單元具有多個傳感器頭,每個傳感器頭都有一個獨特的視場,使其能夠測量所有空間方向上的特征。兩個獨立的XY級提供變速掃描、提高吞吐量和更精確的計量數據。該機提供多種測量模式，包括低kV、超低kV、明場和暗場，使其能夠測量各種各樣的晶圓屬性。此外,TENCOR P 15還提供自動對準和缺陷檢測功能。與手動采樣相比,此功能加快並簡化了測試任務。TENCOR P15專為易於使用和數據收集而設計。開放式體系結構允許與其他系統輕松集成,並允許從多個來源收集數據。它易於針對不同的晶圓尺寸和材料進行配置，可用於工藝故障分析、監控和開發。此外,它還為便於校準、維護和維修而設計,可添加一系列可選組件以自定義工具。總體而言,P 15是一種用途廣泛、經濟實惠的資產,提供一系列的測量、測試和計量功能。它提供了多種特性和功能,使其成為半導體制造過程工程、質量控制和故障排除的理想解決方案。