二手 KLA / TENCOR P15 #9302999 待售

ID: 9302999
Surface profiler Manual.
KLA/TENCOR P15是一種晶圓級測試和計量設備。它能夠檢查和分析半導體器件的電氣和物理特性。用於集成電路、平板等電子元件的生產。KLA P-15具有獨特的集成系統設計,能夠處理直徑不超過8英寸的各種晶片。該單元配備了高速光源、光路、監控機,以及堅固的軟件包。它的可重復性和準確性確保了可靠的性能和準確的結果。TENCOR P 15工具支持晶圓測試的一系列應用,如臨界尺寸、薄膜參數、屈服管理、高頻和低頻電氣性能表征以及靜電放電(ESD)測試。P15的集成光學子系統提供了高精度的光學計量能力。此功能由先進的寬視野光機資產(由精密伺服電機和高端成像儀器驅動的機械)實現。它專為直徑不超過8英寸的晶片而設計,能夠測量晶片厚度和薄膜厚度。集成光學子系統還提供了獲取和驗證電阻率和厚度圖的能力,使操作員能夠識別需要進一步行動的偏差。KLA/TENCOR P 15配備了一套強大的缺陷檢測工具InspectNUX和TVSight,能夠檢測和定位晶圓表面的隔離和埋藏缺陷。它還提供全面的測試設計(DFT)分析報告功能,並包括遠程管理功能。最後,P 15具有視覺數據分析能力.這使操作員能夠使用提供的程序輕松分析復雜的圖像,為用戶提供詳細而準確的調查結果報告。綜上所述,KLA P15是為生產和研究應用而設計的晶圓級測試和計量模型。它提供了準確和可重復的性能,非常適合多個晶圓測試和計量應用,包括DFT、電氣性能表征和缺陷檢測。利用其先進的光學子系統和集成軟件包,TENCOR P-15是制造半導體元件的可靠而強大的工具。
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