二手 KLA / TENCOR P15 #9313370 待售

KLA/TENCOR P15是一種晶圓測試和計量設備，設計用於在設備制造過程中提供精確的表面和電氣表征數據。該系統支持包括晶圓有序考試（WOE）、有限元分析（FEA）和晶圓應力測試在內的各種行業標準測試協議。該單元以先進的4象限差分傳感技術為基礎，利用雙通道幹涉測量頭獲得高精度的表面和電氣數據。該機器能夠測量點分辨和面積測量的電氣參數，包括閾值電壓、平帶電壓和移動性。該工具的關鍵功能包括更高的測量精度、可重復性、魯棒性和高吞吐量。資產還能夠進行實時晶圓映射，以識別晶圓上具有非均勻表面或電氣特性的特定區域。該模型建立在可擴展的開放式平臺上，配備了一系列專門工具，如具有6-Axis運動控制的晶圓對準設備、用於樣品對準和檢查的先進光學顯微鏡以及用於數據分析和軟件控制的強大計算機。此外,它還采用了創新的自動化校準方法,消除了手動處理步驟,從而提高了系統的正常運行時間、性能和準確性。該單元支持廣泛的測試頭配置和包括200 mm、300 mm和450mm晶圓在內的一系列晶圓尺寸。其設計符合與安全、性能、準確性、環境和可追蹤性有關的適用行業標準。KLA P-15晶片測試和計量機是半導體器件制造的重要工具,是精密器件測試需要高精度表面和電氣測量的客戶的理想選擇。