二手 KLA / TENCOR P15 #9315026 待售

KLA/TENCOR P15是一種高端晶圓測試和計量設備，旨在提供高吞吐量和測試精度。它基於三眼成像系統，由一個亮場和兩個暗場相機組成，並結合了先進的卡塞格林光學單元。這允許以極高的精度和速度測量晶片上的亞微米特征。該機配備了高品質的照相機和照明工具，允許廣泛的動態範圍進行圖像捕捉，以便準確地解決晶圓上的亞微米異常。KLA P-15還提供了出色的視野，這使得晶圓采樣水平高於其他系統。此外，該資產能夠進行非常精確的模式識別和叠加測量，並擁有各種各樣的綜合測量服務，為復雜的測量提供更高的準確性和靈活性。TENCOR P 15還包含用於快速圖像處理和統計分析的高級計算能力，允許進行深度測量分析。這包括多維和多層圖像顯示,以及感興趣的區域（AOI）分析。而且，該模型能夠進行晶圓計量、缺陷分析和表面粗糙度測試，以便對晶圓性質進行完整的理解和量化。最後,P 15提供了步進關聯儀、自動缺陷識別和生成器包、染色錐關聯儀和設備級缺陷分析（SLDA）等硬件工具,用於快速分析缺陷。此外,該系統還提供軟件功能,如用於設置、監視和控制測試的圖形界面Measurement EQ,以及以圖形格式提供結果詳細分析的圖形分析。總而言之,這些功能可以實現比以往更高的過程控制、準確性和速度。