二手 KLA / TENCOR P15 #9401373 待售

KLA/TENCOR P15是由主要制造商KLA Corporation設計的集成晶圓測試和計量設備，在制造先進半導體集成電路方面提供顯著提高的性能，以及提高制造產量。該系統的設計目的是對各種集成晶片進行自動化分析，包括在內存、邏輯、光學和其他復雜結構中發現的晶片。該單元利用高精度激光幹涉測量、缺陷成像和先進缺陷分析的有效應用。其市售平臺包括光學顯微鏡、幹涉顯微鏡、自動晶片檢查和對準機，以及一系列先進的計量模塊，包括那些側重於模具級和晶片級產量分析和變化的模塊。該工具旨在從芯片級的各種晶圓表面提供準確的數據捕獲。KLA P-15提供了用於測試、對齊、缺陷檢查和分析以及精確掃描測量的完整軟件包。該資產為所有類型的集成電路和過程提供了高度的準確性和可重復性（重復性優於0.1um）。該模型用於自動光學和幹涉測量，包括生成高分辨率圖像和測量表面尺寸。它還具有執行模具級缺陷自動檢查和屈服分析以及晶圓級性能監測的能力。此外，該設備能夠對被測晶片進行自動對準，從而能夠精確測量相對模具和芯片位置。這有助於確保晶片的所有部分都得到定期的測試和準確的評估。TENCOR P 15最終為數據分析和評估提供了一套獨特的高級工具。這包括詳細結果的輸出,使用戶能夠執行準確的故障分析並更好地了解缺陷的根本原因。該系統在提供質量控制和提高各種集成電路工藝的制造產量方面非常成功。已被醫療、軍事、通訊、汽車等行業使用。因此，TENCOR成為晶圓測試和計量的黃金標準。