二手 KLA / TENCOR P16+ #293765625 待售

KLA/TENCOR P16+是為高通量晶圓測試和計量而設計的設備。它有四個不同的組成部分，可以精確測量矽片上的不同性質。系統的第一部分由一個視覺單元組成，用於識別和測量晶圓圖樣或缺陷的位置。這臺機器利用精確的激光進行適當的對準，並配備了一個高分辨率的數碼相機，可以檢測晶圓表面的圖樣或缺陷。該工具還包括一個光學顯微鏡，以優化精確聚焦和獲取高質量的圖像。第二部分是利用視覺資產收集的數據精確測量晶圓性質的計量站。該站與先進的光學軟件工具集成在一起，用於測量線、耀斑、空隙等晶圓特性。它還具有一種稱為光度立體（Photometric Stereo，PS）的非接觸光學技術，用於構造表面的3維表示，以確定個別地形和表面缺陷。第三部分是高速映射模型,用於快速創建多達100個單獨模式或缺陷的映射。這種設備效率極高，可以快速掃描高分辨率的大型晶片。它還配備了統計工具來分析所獲得的數據並提供可靠的結果。系統的第四個也是最後一個部分是自動缺陷和劃傷檢查組（ADSI）。這臺機器使用激光光學檢查晶片是否有任何可能影響該過程的缺陷或表面劃痕。該工具包括復雜的圖像處理算法來檢測和分類任何缺陷。總體而言，KLA P 16+是晶圓測試和計量的通用資產。其組件提供精確的晶圓特征和缺陷測量，從而實現快速準確的結果。其強大的設計和強大的軟件工具使其成為任何晶圓測試過程的可靠模型。