二手 KLA / TENCOR P16+ #293816815 待售

KLA/TENCOR P16+是一種高性能晶片測試和計量設備,其設計目的是在高通量和準確度的情況下檢查和表征直徑達200 mm的晶片的各種晶片特性。它將無與倫比的精確度、速度和精確度結合到廣泛的工藝和計量應用中,包括晶圓缺陷、叠加、陣列、汙染和蝕刻。KLA P 16+具有革命性的新光學計量硬件和軟件技術，使系統能夠有效地檢查和表征尺寸、高度、深度和角度均低於和高於納米尺度的晶圓特征。TENCOR P-16+利用獨特的多尺度計量和自動對準技術,在一系列晶圓尺寸上實現最佳的計量精度。KLA P16+包括一個先進的、用戶友好的圖形用戶界面,使操作員能夠快速準確地執行各種操作。KLA/TENCOR P 16+單元的測試能力包括低kV缺陷檢測、模模叠加計量學、抗邊尺寸計量學、線緣粗糙度、多重抗線圖案、臨界尺寸、焦點調諧反射率。它還使用獨特的專有算法來分析結果，以準確測量和表征廣泛的晶圓特性。P16+還提供了許多用於工藝表征和優化的高級功能,包括線緣粗糙度（LER）計量（Line Edge Roughness, LER）和自動缺陷檢測（ADD）,後者可以檢測圖像和設備中存在的缺陷,具有無與倫比的缺陷靈敏度。TENCOR P 16+機器包含各種選項，以適應各種應用和配置。其中包括專門的晶圓測試儀和處理程序機器人技術、定制的校準選項、聚焦校準板等附件以及運行用戶定義的自定義測試序列的能力。綜上所述，KLA/TENCOR P-16+是一種先進的高性能晶片測試和計量工具，能夠以速度和精度檢查和表征直徑達200毫米的晶片。它結合了革命性的光學計量學硬件和軟件技術、專有算法以及功能強大、易於使用的圖形用戶界面,在廣泛的過程和計量學應用程序中始終如一地產生可靠的結果。TENCOR P16+提供專門的晶圓測試儀和處理程序機器人技術、自定義選項,以及運行用戶定義的自定義測試序列以進一步增強其功能的能力。