二手 KLA / TENCOR P16+ #9148051 待售
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ID: 9148051
Surface profiler
Lapping
Measurement method: long-scan contact linear scans
Vertical resolution: 0.2 Å @ 327 μm
Step height repeatability: 6 Å, 100nm step
Profile data points: 4,000,000
Scan length: 80 or 200 mm
Maximum Z range: 1 mm
Stage translation: 240 mm x 240 mm
Sample positioning: motorized <1 μm
Sample stage diameter: 200 mm
Stylus force: 0.05 mg- 50mg
Field of view: 1.0mm - 4.0mm
Scan speed: 2 μm/sec to 25 mm/sec
Relative humidity: 30~40% (non-condensing) recommended
Temperature: 16℃~25℃, rate of change ≤2° C/h
Vacuum: 500 mm Hg @ 27 liters/min
Electrical: 220V, 60Hz, 430VA.
KLA/TENCOR P16+是一種晶圓測試和計量設備,設計用於在半導體行業內提供高性能的在線計量和缺陷檢測。該系統提供高級工具功能和直觀的用戶界面,以實現快速、一致和可靠的測試結果。KLA P 16+是提供模級多通道半導體晶圓檢測的下一代單元,無論是在檢測靈敏度還是快速數據吞吐量方面。TENCOR P-16+機器提供業界領先的晶圓缺陷檢測精度和性能。該工具配備了先進的四通道檢測器技術,使其能夠準確檢測各種掩模層的缺陷和缺陷大小。該算法具有納米橫向分辨率,提供了高精度缺陷檢測和分類的優越模式識別算法。該資產提供了對空間陣列類型的快速自動識別,例如DPT、拐角、範圍和表面安裝組件。除了缺陷檢測,TENCOR P16+型號還提供了內聯計量功能。它提供了多種復雜的計量技術,如CD-SEM、散射法和橢圓偏振法,以測量晶圓表面上的垂直和橫向尺寸和變形。它還提供透矽通過(TSV) CD-SEM測量、缺陷跟蹤以及在晶片上放置測試模式。該設備配備了先進的光學剖面儀模塊,提供先進的光散射和圖像處理技術,用於快速和準確的計量測量。KLA P-16+系統操作方便,可靠,兼容各種自動化方案。它對操作員友好的界面允許輕松操作,能夠為特定應用程序定制測試計劃和設置。該部門還提供先進的數據管理功能,並具有實時數據分析和報告功能。其方便用戶的功能有助於簡化操作和檢查過程,從而提高生產率和質量保證。最後,TENCOR P 16+是為可靠性、耐用性和成本效益而構建的。它提供符合最高國際標準的可靠設計,使其適合所有生產環境。該機器旨在減少停機時間、昂貴的維修和維護成本,從而實現最高的生產效率和盈利能力。總之,P16+是一種功能強大的晶圓測試和計量工具,可提供高級工具功能和可靠的性能。它提供了高精度缺陷檢測和在線計量能力,使其適合半導體行業內的各種應用。該資產的設計易於使用、可靠性和成本效益,從而提高了質量和生產率。
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