二手 KLA / TENCOR P16+ #9268287 待售

KLA/TENCOR P16+是一種先進的晶圓測試和計量設備，用於半導體器件制造。它旨在通過頂層幹涉測量、光學3D測量系統和計量過程控制的組合，提供高吞吐量和屈服優化。KLA P 16+使用先進的集成幹涉測量技術來測量多種臨界晶片屬性，如經度、平行度、弓形尺寸、平坦度和厚度。它還能夠確定晶圓正面和背面的微觀特征的位置、輪廓和深度。此外,TENCOR P-16+通過其4D計量功能為用戶提供了測量堆叠和步進高度的能力。KLA P16+利用包含激光源、透鏡和探測器的高性能光學模塊。該系統還包含精密的電子設備，可以處理從探測器接收到的信號，以獲得準確和可重復的測量。光學器件由設備校準,以確保精確操作。機器的集成過程控制功能使用戶能夠實時監視和優化過程參數。這樣可以提高從晶圓到晶圓和運行到運行的過程的可重復性,從而最大限度地減少產品變化和過程非均勻性。它還能夠提供實時反饋和檢測參數的潛在異常。P 16+還附帶提供遠程操作和數據收集的用戶友好軟件。該軟件允許高效的數據分析和流程性能報告。此外，該工具可以與其他標準工廠自動化系統如SPC和SECS兼容系統集成。P-16+為用戶提供了可靠、高性能的晶圓測試和計量解決方案。其復雜的功能、集成的流程控制、數據收集和報告功能使用戶能夠確保更高的產量、質量和流程可重復性。