二手 KLA / TENCOR P16+ #9364779 待售

KLA/TENCOR P16+是一種高度先進的晶圓測試和計量設備，用於工藝優化和缺陷檢測。KLA P 16+是為收集晶圓參數和特性的綜合測量而設計的。它使用負載鎖定、自動晶片處理程序和集成計量功能來測量關鍵參數,如臨界尺寸（CD）、缺陷檢查和叠加對齊以及其他工藝性能指標。TENCOR P-16+結合了專有的高分辨率光學系統，能夠對CD和叠加等關鍵參數進行精確的非接觸和無損測量。這個單元允許操作員解決晶圓表面上0.5毫米或更少的CD變化，這明顯超出了其他計量系統的靈敏度。此外，KLA P16+提供了一個實時的機器來進行高效的缺陷檢查，並能夠以高靈敏度和分辨率實時檢測極小的缺陷和顆粒。TENCOR P16+還具有先進的熱成像工具，在測試時提供晶圓的精確溫度控制，以及用於測量叠加性能的特殊對齊算法。此資產還為關鍵功能提供了快速、高精度的對齊解決方案。自動晶圓處理程序支持從8英寸到12英寸的各種晶圓尺寸，具有獨特的設計，以確保精確的對準和處理。總體而言,P 16+是優化流程和確保一致質量保證的理想解決方案。它旨在簡化流程,同時提高檢測靈敏度和準確性。KLA/TENCOR P 16+允許操作員快速準確地測試晶片，並監控過程穩定性。它是用於高級計量應用的高度通用和可靠的工具。