二手 KLA / TENCOR P16+ #9395529 待售

KLA/TENCOR P16+是由計量和檢驗解決方案的領先提供商KLA Corporation開發的晶圓測試和計量系統。KLA P 16+設備為半導體晶圓過程監測、表征和故障分析提供了先進的2D計量和成像能力。它提供了擴展的過程覆蓋範圍，以確保在芯片制造過程的所有階段的最佳產量。TENCOR P-16+系統設計用於高容量計量、成像和分析，以支持低溫器件的工藝優化。它采用集成的計量平臺設計,將3D掃描功能與光學、光譜和電氣測量解決方案相結合。該單元具有用於確定晶圓平面參數（如輪廓、平整度和層厚度）的高級工具套件。KLA/TENCOR P-16+機器支持在晶圓級自動測量過程行為,並為單模和多模實現提供增強的吞吐量和測量能力。其先進的優化缺陷檢測（ODD）和圖像識別（IR）算法有助於快速評估過程缺陷，幫助檢測任何質量問題，才能造成屈服損失。TENCOR P 16+工具還設計用於整個生產過程的可靠性和可重復性。它滿足了嚴格的生產要求，采用了臨界維度（CD）測量和計量的專用算法，從而實現了快速高效的過程評估。該資產允許對任何流程問題進行跨站點監測和報告,有助於確保變異性保持在最低限度。KLA P16+模型通過先進的TENCOR FabOptimizer軟件產品套件提供全面的數據分析和報告功能。FabOptimizer套件提供對流程和設備數據的實時分析,以幫助識別和解決可能出現的任何問題。它提供集成的質量儀表板,通過警報管理和參數跟蹤實現快速流程優化。該設備還提供站點/功能/離散數據挖掘能力，以便進行更深入的過程分析。總體而言,P16+是一個高級度量、成像和分析系統,旨在進行可靠的晶圓測試和度量。其集成的計量平臺提供了全面的流程覆蓋範圍、自動化的測量、增強的度量以及可靠的可重復性功能。利用先進的數據分析和報告功能,TENCOR P16+單元有助於確保晶圓制造中的產量控制和工藝優化。