二手 KLA / TENCOR P17 OF #293666751 待售

KLA / TENCOR P17 OF
ID: 293666751
Surface profiler.
KLA/TENCOR P17晶片測試和計量設備是一種高端計量系統,用於檢查半導體工業中使用的晶片基板。該單元結合了先進的評估和計量技術,包括全場成像、自動缺陷審查和重點離子束分析,以提供晶圓基板的詳細、全面的視圖。KLA P17 OF機由幾個模塊組成,包括一個紅外光學掃描子系統、一個500萬像素相機工具和一個高效、低功率的離子柱。紅外光學掃描資產支持全場成像,提供整個晶圓的詳細、高分辨率圖像。相機模型允許自動缺陷審查,對晶圓上的過程相關缺陷提供快速、可重現的審查。離子束柱對晶片上的局部目標區域進行了無與倫比的分析,進一步評價了過程相關缺陷。除了成像和計量組件外,TENCOR P17 OF還包括一個自動晶片分級設備,提供高度可配置的晶片制備和處理過程。分期系統允許晶片的精確、可重復定位以及與成像和計量組件的自動對齊。P17 OF具有完全集成的圖像捕獲、處理和顯示單元,為操作員提供了易於使用的圖形界面。直觀的用戶界面為操作員提供了計量操作所有領域的全面視圖。機器可以存儲以前運行的數據,允許操作員快速召回和分析運行以進行分析和比較。KLA/TENCOR P17 OF旨在滿足最新半導體工藝技術的需求,並提供尖端性能和測量能力。該工具非常適合掩蔽過程開發、過程控制和質量保證應用。該資產提供了無與倫比的準確性和可靠性,為最先進的技術節點中的半導體工藝工程師提供了可靠性保證。
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