二手 KLA / TENCOR P17 #293664880 待售

KLA / TENCOR P17
ID: 293664880
Surface profiler Constant stylus force controller Microhead 5 SR Measurement head Vertical range: 0-327 µm Stylus force: 0.5-50 mg Scan length: 200 mm Dual-view optics: Side and top view Top view objective lens: 1400 x 1040 µm With auto magnification Digital camera: 5 Megapixel Stylus radius: 2.0 µm, 60° Motorized level and rotation, 8" Hold-down vacuum sample PC With LCD Monitor, 23" Operating system: Windows.
KLA/TENCOR P17是一種晶片測試和計量設備,用於測量現代器件制造中使用的半導體晶片的缺陷、器件性能、組成和其他特性。它可以在一次掃描中分析多種材料層,允許快速檢測過程變化和缺陷。該系統包含晶圓掃描光學、自動顯微鏡以及廣泛的光電和電磁傳感器。光學元件由激光、透鏡系統和其他光學元件組成,這些元件用於在每次掃描時以多種角度和深度捕獲各種測量結果。自動顯微鏡包括一個電動的z軸級和一個高分辨率的相機,用來捕捉晶圓的高分辨率圖像。KLA P-17能夠從每次掃描中捕獲關鍵信息,以識別晶片的詳細特征和圖樣結構,提供顯示局部變化的詳細圖像,並提供高分辨率分析臨界厚度和組成變化的選項。通過將面積和點測量相結合,它提供了晶圓上發生的情況的概述。TENCOR P 17的高級算法可以在過程的早期發現問題,為工程師提供快速糾正行動的機會。該單元可檢測和測量各種類型的缺陷和降解,如氧化物積聚、汙染或腐蝕,也可用於測量導線完整性的指標。此外,TENCOR P-17可以收集晶片所有材料層的數據,提供有關缺陷和工藝變化的完整信息,以便進行全面分析。該機器還包括一個集成數據庫,可以對大量檢查數據進行高效存儲和分析。為確保準確性和可靠性,KLA P 17可借助內置的NIST可追溯校準標準進行反復校準。該工具是一種完全自動化的資產,可集成到廣泛的生產過程中,從而減少測試時間和成本,並提供高度準確、可重復的結果。總之,TENCOR P17是一種先進的晶片測試和計量模型,能夠檢測矽片上各種類型的缺陷或降解。其先進的傳感器和光學系統為工程師提供了快速糾正措施和提高效率的全面信息。設備可以集成到生產過程中,減少測試時間和成本,並提供可靠的結果。
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