二手 KLA / TENCOR P17 #293824839 待售

KLA/TENCOR P17是一種功能強大的自主晶片測試和計量設備，專門為晶片結構的自動化計量設計。該系統由兩個核心組成：主要計量單元和樣品包裝和控制單元。KLA P-17為300 mm、200 mm和150 mm晶圓提供自動化的高精度計量。主要的計量單元是一個精密掃描級，允許晶片精確對齊，然後使用高光譜成像技術進行拍攝。掃描級由高速、低噪聲的線性伺服電動機定位和操作，可配置為掃描特定範圍的晶圓，以及調整其速度以獲得最佳性能。該掃描機采用先進的CCD/CMOS傳感器和減振掃描臺，以確保高分辨率的分析具有可重復的精度。TENCOR P 17還包括用於樣品制備和控制的高級樣品包裝和控制工具（SPCS）。SPCS結合了幾個組件,允許快速加載和卸載多個晶片、樣本映射和對齊,以及存儲和檢索晶片度量。SPCS可以安全地包裝多個晶片，然後將其密封並運送到計量單元。此外，SPCS包括一個專門的溫度控制，允許溫度相關的晶圓測量。KLA P17資產利用高級軟件進行圖像采集、分析和晶圓結果報告。此軟件提供高精度測量,並提供一系列用於數據分析的工具和視圖。此外,KLA/TENCOR P-17允許用戶輕松定義自定義分析套件和報告格式,從而能夠更快地進行故障排除和更高效地進行晶圓分析。為了確保質量和準確的結果,P17模型包括多個冗余級別和可靠的數據管理設備。該系統可確保整體設備正常運行時間最大化,並確保晶圓測試結果在發生機器故障時得到安全存儲和備份。總體而言,P 17工具為晶圓處理提供自動化、靈活和準確的計量。它結合了先進的計量技術、樣本封裝和控制、可定制的分析工具以及強大的數據管理功能,使TENCOR P-17任何晶圓處理設施的重要工具。