二手 KLA / TENCOR P2 #293595754 待售

KLA/TENCOR P2是一種用於分析半導體晶片的晶圓測試和計量設備。它是一個高度集成的測量和評估半導體晶片地形和電氣特性的系統。KLA P-2包括一個高速圖像傳感器來捕捉晶片的地形特征，一個強大的圖像處理器來分析捕獲的數據，以及其他幾個傳感器來測量晶片的物理性質，比如它的電阻率。TENCOR P2中包含的圖像傳感器是一種先進的電荷耦合器件（CCD）陣列,能夠捕獲大面積的晶圓表面。大格式允許在晶圓上收集更多的數據點,並確保更快速地收集數據點。圖像處理器能夠快速準確地分析捕獲的圖像數據，識別缺陷，並創建晶圓表面的詳細地形圖。處理器還提供計量功能，計算晶圓的電壓、電阻率和厚度等各種性能參數。除了圖像傳感器和處理器之外，P-2還包括一個專門的傳感器陣列，用於測量晶圓的各種電氣和物理特性。其中包括KLA VFET傳感器、先進的電氣性能測試儀、周界保護掃描儀、接觸電阻圖掃描儀和探針單元、用於測量電阻率、平整度、表面均勻度等特性的探針陣列。KLA P2還包括用於晶圓目視檢查的視覺機器。P2高度自動化,能夠在單個會話中執行各種任務。它可以測量電壓、電流、電阻、電容、電感等電氣性能特性。該工具還能夠測量和分析晶片的輪廓、厚度和表面質量，以及其平整度和表面均勻性。KLA/TENCOR P-2提供了廣泛的特性和功能,使其成為分析和評估半導體晶片的寶貴工具。其高度自動化的性質允許快速測量和評估晶片的電氣和物理特性。P 2收集的數據隨後可用於做出戰略決策，並創建將改善半導體制造的工藝變更。