二手 KLA / TENCOR P2 #293800218 待售

KLA/TENCOR P2是針對最苛刻的晶圓制造應用而優化的晶圓測試和計量設備。它提供了一系列全面的檢查和測量功能,具有高分辨率圖像、快速掃描速度和小尺寸。KLA P-2使非接觸式計量測量能夠量化非均勻變薄的晶片和薄膜，同時還提供激光幹涉測量和微米級坐標測量機（CMM）能力。該系統使用掃描電子顯微鏡（SEM）成像來更好地訪問地形和檢測缺陷。TENCOR P2采用先進的軟硬件技術設計，以優化吞吐量和性能。該單元的光學元件是可調的，以適應一系列晶圓尺寸和尺寸。掃描電子束（Scanning Electron Beam, SEB）的設計目的是獲得最高分辨率的圖像和測量值。光譜儀是一種用於獲取光譜和進行3D測量的自動化機器，它采用多種模態感測技術進行快速準確的表征。TENCOR P2的高端控制軟件包括集群工具自動化、自動樣本識別、集成全廠工具等功能。先進的軟件還提供了自動對齊和失真校正，使樣本偏心率的影響最小化。這個復雜的軟件使從同一樣本上的多個站點獲取測量數據的過程自動化。TENCOR P-2能夠使用軟件的多波長幅度調制（MAM）技術同時測量薄層、晶圓和薄膜。這種技術可以通過提供準確、可重復的結果來減少測量不確定性。為了便於查看和數據傳輸,該工具還集成了高清電視攝像機和對DataBridge軟件的支持。DataBridge允許串聯數據傳輸和分析,從而提高分析的準確性和速度。這樣可以更快地做出決策和完成項目。P-2是一種先進的晶圓測試和計量解決方案,經過優化,可實現快速、準確和可重復的性能。憑借其尖端的硬件、軟件和傳感器,它為各種晶圓制造應用程序的檢查和測量提供了速度和準確性的最佳組合。