二手 KLA / TENCOR P2 #9007474 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9007474
Automated long scan profilometer
Optic: 150-600X HI
Stylus force:
0: 226
10: 339
40: 557
100: 840
300µ Range: 0.9975
Scan length: 0.0000000
Backlash: 0
Drop timer: 27
Linearity:
A: 975
B: -350
Options:
Sequence / Data base manager option
Motorized level and rotation option
Measure micro-roughness with:
1 Å resolution over short distances scan: 210 mm (8.2")
PC / AT Computing power automatic measurement capability
Data storage
Data analysis
Includes:
Magnetic disks
Semiconductor wafers
Precision-machined and polished surfaces
Ceramics for micro-electronics
Glass for flat panel displays
Optical surfaces
Measurement of vertical ranging under 100 Å: 0.4 µin to ~0.3 mm (11 Mils)
With vertical resolution 1 / 25 Å: 0.004 / 0.1 µin
Measurements either metric / English
Independently for horizontal and vertical parameters
Does not include key lock
Power supply: 115 V, 4 A, 60 Hz, Single phase.
KLA/TENCOR P2是一種晶圓測試和計量設備，設計用於各種半導體工藝和缺陷檢測應用。該系統以最佳的精度提供全面的故障分析解決方案。它能夠以高分辨率和精確度掃描整個晶片表面。該單元由一種專有的KLA光譜圖像處理技術提供動力，使其能夠檢測和表征過程和產品相關缺陷。機器的處理能力使它能夠在幾分鐘內掃描整個晶片表面。它包含專有算法,旨在提高圖像處理和缺陷表征的準確性和速度。該工具還具有先進的集成軟件,具有缺陷人工制品特征、缺陷優先排序、統計故障分析和缺陷趨勢識別功能。該資產具有內置工具,用於管理和分析每小時多達200 k的產品缺陷,且假陽性和假陰性率較低。該模型還旨在使用戶能夠輕松地在檢查模式之間進行切換，從而使他們能夠優化其對不同流程和應用程序的使用。該設備還包括獲得TENCOR專利的KORE™技術，它提供高分辨率光譜圖像的成像。它捕獲整個表面的圖像,並提供光學參數的詳細分析,如臨界尺寸（CD）和線緣粗糙度（LER, Line Edge Roughness）。該系統還包括一個功能強大的光學計量學軟件包，使操作員具有前所未有的能力，能夠準確地表征粒子、位錯、丘陵和其他光學線路和表面拓撲特征等小缺陷。該單元還提供了一整套自動缺陷分類和缺陷大小分析工具，用於高效和一致的缺陷表征。此外，該機器設計方便地集成到現有的計量系統中，使用戶能夠從各種來源獲取數據。KLA P-2是用於缺陷檢測和晶圓測試應用的功能非常強大的工具。它能夠提供高精度、精確的缺陷參數測量，使其比傳統的晶圓測試方法更具優勢。憑借其全面的能力和創新的技術，該工具是任何半導體鑄造廠或生產環境的必備工具。
還沒有評論