二手 KLA / TENCOR P2 #9100966 待售

KLA/TENCOR P2是一種晶圓測試和計量設備，用於評估晶圓在半導體生產過程中的電性能。該系統由樣本持有者、測試頭、照明子系統、計量子系統、軟件接口以及數據采集和分析模塊組成。樣品支架將晶片連接到設備上,並在測試過程中將其固定到位。測試頭是發生電氣測試過程的地方。測試頭包含一個集成電源、數字信號處理器和一組晶圓探頭。電源使探針能夠向晶片傳遞預定的電信號。數字信號處理器用於根據測試過程中收集的數據修改信號。照明子系統提供了成像過程所需的照明。它由提供晶圓均勻照明的光源和透鏡組成。計量子系統包括捕獲晶圓圖像的成像設備。可以配置為提供晶圓表面的放大圖像或實時圖像，還可以測量電阻、電容、擊穿電壓等電性能。軟件界面允許用戶控制單位參數，並存儲收集到的數據進行後處理。用於配置機器的測控參數，啟動測試序列，管理數據采集和分析。數據采集和分析模塊用於處理從晶圓測試過程中收集的原始數據，並生成對結果進行詳細分析的報告。最後，科軍P-2包括一套診斷工具，以確保所有結果準確可靠。其中包括缺陷和異常檢測工具、測試質量保證資產以及用於優化生產過程的產量分析模型。總體而言，TENCOR P2為晶圓測試和計量提供了一個全面的解決方案。它提供卓越的性能、準確性和可靠性,以確保高效可靠的生產過程控制。