二手 KLA / TENCOR P2 #9183261 待售

KLA/TENCOR P2是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量、識別和跟蹤用於制造集成電路的半導體晶圓的物理特性。該系統結合了先進的光學、電源和X射線技術，提供亞微米探測和計量能力。KLA P-2單元由光學晶片檢測模、功率計量站、X射線衍射站和成像站組成。光學機器使用激光和光場檢測技術來測量晶片的特性。這項技術能夠檢測微小的缺陷，如坑、裂縫、粒子和幾何差異。它還能夠識別晶圓中非常小的特征，如線寬和線空尺寸變化。功率計量站使用自動測試和接觸掃描來測量設備中的功耗。這對於確保設備按照設計運行和芯片不會過熱非常重要。X射線衍射站分析晶片的材料特性，以測量晶格和各晶片內應變的變化。成像站有效捕獲晶圓的自上而下的表面圖像，並使用圖像來測量不同的參數，如對比度、清晰度、焦點、分辨率等。這些圖像用於準確識別缺陷並確保設備符合規格。TENCOR P2工具還使用數據分析套件來存儲、組織、比較各晶圓的檢測結果。KLA P2資產為半導體晶圓提供了一套完整的計量和缺陷檢測能力。它幫助制造商深入了解其晶片和產品的質量,並幫助確保晶片和芯片符合其期望的規格。