二手 KLA / TENCOR P2 #9224719 待售
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KLA/TENCOR P2是一種晶圓測試和計量系統,旨在為半導體行業提供最先進的計量和測試能力。該系統支持關鍵晶片制造工藝,包括模具附著、光刻、介電塗層、抗塗層/顯影、模具粘結。它還支持高級過程控制、缺陷預防和屈服管理,利用高速光學、熱和電氣計量功能。KLA P-2由一套非接觸式光學、X射線、聲學和電氣探針和模塊組成,提供高分辨率成像能力以及對層厚、表面粗糙度、互連幾何形狀、晶體管特性和模具連接經波等參數的詳細測量。X射線CCD啟用缺陷檢測,而光學探針測量線寬、接觸孔和觸點。聲學和熱學探針測量微塊的形態和位置.電氣模塊允許使用各種電氣測試和分析技術對設備進行表征和設備優化。TENCOR P2是為處理設備制造的所有主要階段而構建的,包括缺陷檢測、計量、過程保證和過程控制。它的高分辨率和準確性允許精確控制特征大小和形狀,從而確保設備符合等級規格。它具有高速成像和數據分析功能,能夠實時監控和評估設備制造步驟,支持流程優化,並允許更快地提升新流程和設備。高級優化和數據管理工具能夠高效生成數據驅動的決策。KLA P2還包括自動化的全現場流程控制和自適應流程控制(APC)功能,允許用戶實時操作流程。用戶可以快速響應關鍵流程指標和非關鍵產量數據,以提高產品產量。總體而言,KLA P2是半導體行業強大可靠的工具。TENCOR P2憑借其高分辨率的光學、X射線、聲學和電氣探針,結合先進的優化和數據管理功能,提供了當今高容量、高精度應用所需的高級過程控制、缺陷預防和屈服管理。
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