二手 KLA / TENCOR P2 #9252431 待售

KLA/TENCOR P2是一種精密的晶片測試和計量設備,能夠對晶片的物理特性進行表征和可視化。該系統能夠測量光場圖像和暗場圖像，提供晶圓地形在廣泛放大範圍內的詳細視圖。它還具有分析原子力和臨界維度以及顆粒缺陷水平的能力。KLA P-2還包括一個組合顯微鏡/掃描電子顯微鏡（SEM）腔室，用於超高分辨率和高靈敏度的檢查。該單元包括兩個主要的計量過程，光子掃描隧道顯微鏡（PSTM）和自動形狀缺陷檢測（ASDD）。PSTM使用基板表面的隧道電流和浸入式光學器件發出的激光束的組合,能夠對表面拓撲進行最精確的分析。這也為顯微鏡提供了最精確成像的最高分辨率缺陷。另一方面，ASDD過程允許高速自動檢測黑暗和明亮區域的缺陷。它能夠檢測大小特征的形狀和韌帶缺陷。TENCOR P2在暗場模式下無與倫比的照明均勻性抑制了背景信號泄漏到晶圓上，確保了最高的檢測通量和盡可能高的圖像對比度。它還具有4 x到128 x的映射功能以及MTF測量功能,以實現晶圓的最精確的表征。此外，KLA/TENCOR P2作為一種現代晶片測試和計量機器，具有在不影響器件電氣特性的情況下進行厚度測量的能力。此外，該工具還包括人體工程學用戶界面（EUI）。EUI允許更輕松和自動化的數據轉換和分析,以及簡化的設備操作和控制。此外，TENCOR P-2還有許多集成工具，旨在幫助對晶圓及其部件進行高效分析。其中最重要的是自動對焦、晶片縫合、粒子識別以及缺陷分類算法。TENCOR P2是半導體工業中的一種高級級晶圓測試和計量系統。它結合了卓越的測量和檢測功能、自動化的數據轉換和分析,以及一系列功能強大的控制工具,使用戶能夠以最高的精度和準確性查看、檢查和分析其晶片。