二手 KLA / TENCOR P2 #9281925 待售
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ID: 9281925
Long scan profiler
Configuration:
Sample size: 254x254 mm
Standard head & 5µm stylus
Standard range: Microhead with 1 - 50mg force
Scan length: 205mm
Scan speed: 1µm~25mm/sec
Step height repeatability
Motorized X-Y stage
Rotary stage:
Angle: 0-360°
Resolution: 0.1°
Anti vibration table.
KLA/TENCOR P2晶圓測試和計量設備是一種專門為IC制造和測試而設計的自動掃描電子顯微鏡(SEM)。該系統能夠在基片上成像納米級特征,並在質量、均勻性和一致性方面進行模具成像。KLA P-2專為嚴格公差過程控制和系統缺陷分析而設計,具有最強大、可靠和可重現的性能。TENCOR P2具有快速準確分析工業晶片和模具應用中的大量設備所需的光學和電子元件。P-2可以獲得高精度和重復性的上下文內和模級圖像、測量和計數。WaferSense®電子設備集成到TENCOR P2的內部機構中,並在成像之前自動設置和校準測試條件。這有助於消除人為錯誤並顯著提高測試分辨率和準確性。它還提高了晶片和模具的測試速度,因為測試可以在短短幾分鐘內完成。KLA/TENCOR P-2還配備了創新的成像檢測器,提供卓越的圖像清晰度和信噪比。這種最先進的CCD檢測器可自動調整圖像參數,從而提高分辨率,提高不同設備功能之間的對比度。該單位還能夠建立半自動和自動的食譜,用於檢查和測量任務。這有助於消除手動編程,並消除與手動編碼配方相關的人為錯誤。KLA P2還存儲所有獲取的數據,可以很容易地檢索和分析進行比較。總之,KLA P2機是一種功能強大、可靠、精確的自動掃描電子顯微鏡工具。它設計用於各種IC制造和測試應用中的嚴格公差過程控制和系統缺陷分析,並具有最新的成像和測量功能。其WaferSense電子產品和高級照明功能確保了無與倫比的分辨率和準確性,而自動配方功能則無聲地完全控制資產。因此,在半導體工業中,P2是優化器件產量和質量保證的理想工具。
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