二手 KLA / TENCOR P2 #9291906 待售

KLA/TENCOR P2是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於晶圓邊緣和中心測量。為用戶提供用於計量信息處理的自動化解決方案,如晶圓表面檢查、晶圓缺陷分析、晶圓形狀測量和晶圓材料驗證。該系統采用先進的基於激光的晶片邊緣檢測裝置,采用先進的晶片計量技術,對晶片邊緣位置進行精確監控,檢測形狀或幾何形狀的偏差,量化晶片邊緣特性的變化。還集成了先進的光源計量技術，對晶圓表面地形進行檢測和測量。作為機器的一部分，紅外激光和成像照相機用於識別表面材料成分的變化，並檢測諸如劃痕和表面缺陷等缺陷。從該工具獲得的其他計量信息包括金屬線和3D輪廓過程控制數據、晶圓清潔度信息、晶圓平整度測量、表面特性映射和表面粗糙度檢查。這使用戶能夠獲得晶圓制造工藝的全面數據集，包括其屈服性能。資產除了檢測表面缺陷外，還集成了一系列其他算法，在三個維度上測量晶圓形狀。這允許用戶精確量化晶圓形狀和尺寸的差異，並從測得的晶圓生成度量數據，如平坦度、晶圓邊緣變形以及橫截面面積。該模型還得益於用於實時測量可視化的集成圖形用戶界面。這使用戶能夠快速查看當前測試數據以及查看過去的數據,並充分了解設備性能。該系統還兼容各種數據輸出格式，方便不同機器之間的數據共享和協作。總之，KLA P-2是一個先進的晶片測試和計量裝置，為用戶提供了一個用戶友好、自動化的解決方案，用於準確監測晶片表面和形狀以及推導過程控制數據。它提供了對晶圓制造工藝現狀的寶貴視圖,幫助用戶減少缺陷並確保質量控制。