二手 KLA / TENCOR P2 #9402153 待售
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KLA/TENCOR P2是一種自動化晶圓測試和計量設備,用於檢查半導體器件和電路。它為串聯樣本監控、分類、故障分析和缺陷隔離提供了一系列集成功能。該系統利用各種光學、電氣和光熱技術來檢查和表征晶片。它由晶圓分析儀和晶圓級計量子系統兩個主要組成部分組成。Wafer Analyzer按順序掃描每個區域並收集用於識別缺陷的電氣數據,而WLM子系統集成了用於表征、測量和驗證每個設備的結構特性和電氣性能的光學和電氣信息。對於電氣測試和表征,該單元使用光譜成像技術,以高精度和分辨率測量電阻、電容和其他器件參數。電氣表征功能為設備提供了強大的故障隔離和故障分析功能。WLM子系統將光學和電氣測試信息集成在一個平臺中。這使機器能夠在一次掃描中測量晶片的多個方面,並提高設備特性的準確性。在故障分析和缺陷隔離方面,該工具采用了亮場、暗場和光譜成像等多種成像技術。該資產還配備了壓力測試能力,以模擬現實世界的狀況,並在不同條件下準確識別故障設備。KLA P-2設計用於在半導體生產環境中快速、準確地監測和表征晶片。它為需要高保真設備表征、故障隔離和故障分析的制造商提供了高質量和經濟高效的解決方案。它可以加快生產過程中的周轉時間,提高產量。
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