二手 KLA / TENCOR P20H #293753931 待售
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單擊可縮放
ID: 293753931
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
High resolution profiler, 8"
Cassette port
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
Wafer cassette: 8" PP (Miraial: KM-803P-K)
Includes:
Computer unit
Sensor (Micro head 1 LF)
Open wafer handler, 8"
Star JR-100 graphic printer
Option: SECS/GEM
No SMIF
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H是一種用於半導體器件制造的高精度晶圓測試和計量設備。它是一個自動化的多傳感器系統,用於分析和表征單個半導體晶片的電氣、光學和物理特性。KLA P-20H單元可以借助原位探頭及其電容-電壓轉換器測量設備的電氣特性。此外,光學機器被用來刻畫一個設備的幾何形狀,包括線寬和深度,具有很高的精度。進一步分析微米幾何和表面特征是使用可調焦點手寫筆.計量工具采用KLA專有的非接觸式計量技術,提供高精度和重復性。它能夠以前所未有的精度和可重復性測量納米尺度特征。該資產能夠運行高速生產作業,每小時最多可測量250個晶圓,同時保持高精度。TENCOR P20H也被設計為高度可靠和低維護。它具有最小活動部件的固態設計,減少了環境損害和磨損的可能性。它還具有易於使用的用戶界面和控制模型,具有動態導航和導航鏈接,便於使用和理解。此外,P20H還配備了TENCOR獨特的計量軟件包。它包括用於自動對準和探針校準、缺陷檢測和晶圓分析以及統計過程控制的工具。這樣可以確保從設備獲得的數據可靠和準確。總體而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX P20H是一種功能強大且可靠的半導體器件制造計量系統。它提供了無與倫比的準確性、可重復性和速度,使其適合各種生產環境。它被設計為高度可靠和低維護,非常適合高性能生產。
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