二手 KLA / TENCOR P22H #9214889 待售

KLA/TENCOR P22H系統是用於晶圓測試和計量的強大工具。它是用於半導體行業的KLA系列自動晶圓檢測設備的成員。KLA P 22 H能夠檢查和測量尺寸從8英寸到200毫米不等的晶片。該單位設有6個處理站，提供包括光學、機械、電氣等方面的檢驗和計量能力相結合。TENCOR P-22H的設計專註於提供高通量和精確測量,並在一系列產品上提供先進的特征識別和分類。其光學元件包含兩個大光圈全視場（FFV）CCD相機，以及多個LED光源和專用光學元件。P-22H提供高分辨率亮場（BF）、暗場（DF）、多區亮場（MZBF）和線掃描等成像能力。這樣可以檢查較小的高長寬比特性,這對許多應用程序都是一個很大的好處。此外,線路掃描模式允許對光學可編程相移光柵、低壓材料和新興材料進行無損檢測。該儀器還配備了革命性的自適應掃描體系結構（ASA），一種通用的模式識別系統。這使得它能夠精確地檢查晶圓模式，即使存在由過程均勻性引起的長寬比差異。KLA P-22H還提供令人印象深刻的0.2nm測量分辨率和內置聚焦算法,進一步幫助確保數據的高精度。這可幫助客戶自信地測量高度精確的組件,而無需手動調整。提高的吞吐量和可重復性性能是由大型電動機確保的,該電動機以速度和精度將晶片從一個工作站移動到另一個工作站。歸根結底，P22 H是專門設計的晶圓測試和計量系統。KLA/TENCOR P22 H憑借其先進的成像和測量功能以及自適應掃描體系結構,提供了令人印象深刻的性能,滿足了半導體行業的嚴格需求。