二手 KLA / TENCOR P22H #9411708 待售

ID: 9411708
Profiler Single cassette.
KLA/TENCOR P22H是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體器件的檢查和過程控制。它結合了復雜的算法和高度先進的自動化檢測技術,以快速和準確的晶圓生產。KLA P 22 H系統利用其高分辨率成像光譜儀和顯微鏡掃描和檢測圖案化和非圖案化基板上的工藝缺陷。不同波長的多個光源使設備能夠應用各種光學檢查技術來增強晶圓上汙染物的檢測。然後根據預先確定的標準對被檢查的基板進行評估,以發現任何不規則之處或任何不規則之處,如平版印刷、地形或蝕刻缺陷、材料遮蔽或特征放置不良等。該機還能夠監控關鍵工藝參數的累積磨損,從而確保高級工藝和產品的穩定性。TENCOR P-22H具有3D航空航天多傳感器自動對焦功能,以確保每個被檢查的晶圓表面都能最佳地聚焦在光學成像工具上。利用這種自動對焦資產,可以確保圖像質量一致,從而提高被檢驗材料的準確性和數據準確性。該模型還能快速準確地測量半導體上的小特征。高質量的光學成像設備可以快速映射晶圓表面的圖樣。該系統非常適合高分辨率應用,如在電路、接觸孔、線窄和其他特殊測試地點的深度、面積和體積測量。KLA/TENCOR P-22H晶圓測試和計量單元是提高半導體工業質量和降低成本的理想解決方案。通過將復雜的算法與先進的自動化檢測技術相結合,為確保晶圓的最佳生產提供了精確度和速度的最佳組合。
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