二手 KLA / TENCOR P2H #9093855 待售
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ID: 9093855
Long scan profiler, 254 x 254 mm
Measures: Roughness, Waviness, Topography (TIR, Height, Average height)
Scan length: 210 mm
Scan speed: 1 um/sec to 25 mm/s
Scan method: moving stage, stationary stylus
Stylus control:
Programmable force: 1-100 mg ± 0.1 mg
Full retract between scans
Programmable descent rate
Measurement control:
Manual / Single scan mode
Keylock with (3) modes
Repeat and average mode
Automatic sequence mode
Sample handling:
Motorized XY
Max sample size: 254 x 253 mm
Sampling rate: 50, 100, 200/s nominal
Vertical range: ±6.5 um at 1A resolution, ±150 um at 25A resolution
Vertical linearity, entire range: ±0.5%
Horizontal resolution: 0.01 um at 1 um/sec scan speed
Step height repeatability:
13 um range: 0.001 um (10A) max standard deviation
300 um range: 0.005 um (50A) max standard deviation
Base line stability:
Time: 0.02 um (200A) max TIR for a 100-s scan
Distance: 0.2 um (2000A) max TIR on a profile length of 130 um verified on a 1/20 optical flat
Data storage:
HD: 40 MB
Diskette: 1.4 MB on 3.5" Disk
DOS operating system
Tencor P-2 Program
Recipes
Data Analysis:
Interactive graph
Delta Average mode
Zoom box data expansion
Data catalog
Database manager option
Metric or English units.
KLA/TENCOR P2H是一種先進的、完全集成的晶圓測試和計量設備,旨在超越業界最嚴格的行業規範和要求。它能夠容納直徑達200毫米的晶圓尺寸,而其先進的自動化軟件和獨立的子系統使其成為生產多種設備技術的實驗室和工廠的理想解決方案。該系統由四個組件驅動-數據采集單元（DAS）、檢查機（IS）、計量工具和總計量資產（TMS）。DAS是一個自動化的數據收集模型,它捕獲性能參數化以及半導體器件和與設備其他組件接口的測試輸出。IS是一個功能強大的自動檢查系統,可提供快速、符合規範的圖像分析和被測設備的特性。它還提供各種圖像評估,如檢測、分類、測量、模式識別和著色。計量單元是設備尺寸測量、電氣參數、缺陷表征和故障分析的綜合計量解決方案。它提供了高級分析功能,可以準確測量各種參數和材料屬性。TMS允許對各子系統收集的數據進行全面管理,並使用戶能夠快速評估晶圓質量和整體設備特性。KLA P-2H采用最新的晶圓測試技術,集成了硬件、軟件和系統,旨在最大程度地提高準確性和可重復性,並確保最大限度的生產效率。所有系統都采用優化格式,提高了數據采集和分析的速度和準確性,同時縮短了整個周期的時間。它還配備了質量缺陷檢測的尖端方法、優化效果的自動調諧技術以及統計質量控制過程，以確保可信的結果。此外，TENCOR P2H機器設計為用戶友好，具有直觀的圖形用戶界面，對各子系統和組件的完全控制，以及實時監控設施以顯示性能進度。還建立了安全控制和數據保護協議,以便安全運行。TENCOR P2H是一種適合原型和大批量生產晶圓測試環境的工具，提供最大性能、重復性和可靠性。憑借其全面的計量和圖像分析能力、易於使用的設計以及顯著縮短制造時間的能力，它是任何現代半導體實驗室或晶圓廠的理想工具。
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