二手 KLA / TENCOR P2H #9241190 待售
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KLA/TENCOR P2H是一種前沿晶片測試和計量設備,設計用於各種矽集成電路(IC)晶片的自動、無損缺陷檢測和厚度分析。這個先進的晶圓測試和計量系統利用了硬件和軟件的最新技術。KLA P-2H可以高精度地自動檢查和分析晶片表面缺陷,包括由汙染物、塵埃等微粒和基於加工的圖樣引起的缺陷。其內置的3D光學檢測技術能夠快速準確地檢測和映射晶圓表面的缺陷圖樣,分辨率小於6微米。該單元還使用高分辨率光譜成像和熒光測量來識別和測量晶圓表面的汙染。除了缺陷檢測,TENCOR P2H能夠測量晶圓厚度等地形特征,如通道深度、圖樣間距、峰值高度等。它包括一項名為AVI(縱向集成成就)的專利技術,它有助於快速準確地分析晶圓值。AVI工具包可以識別一系列晶圓模式,即最多25微米,以實現近乎即時的精確讀數。KLA P2H利用所有這些功能進行超高速晶片表面測試和計量,占地面積非常小,不到1平方米。KLA P2H還具有強大的基於Linux的軟件體系結構。它具有復雜的用戶界面,便於操作,並提供測試數據的完整捕獲和分析。這個復雜的基於軟件的平臺允許自動生成具有完全可追蹤性和歸檔功能的報告。這意味著可以導出計算機生成的所有分析數據的記錄審核跟蹤,以便進一步查看和跟蹤。KLA/TENCOR P2H是先進的IC制造工藝的晶圓測試和計量的前沿解決方案。它為晶片提供高精度、無損檢測和均勻性分析,具有非常小的占地面積和先進的基於軟件的數據歸檔和可追蹤性控制平臺。KLA/TENCOR P2H的主要目的是提高晶圓產量,是現代IC制造商必不可少的工具。
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