二手 KLA / TENCOR PHX DF 5.0 #293660076 待售
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KLA PHX DF 5.0是一種晶圓測試和計量設備,設計用於提供半導體制造中的高保真結果。該系統旨在提供市場上一些最高級別的分辨率和準確性。TENCOR PHX DF 5.0利用多相機成像架構。這個復合成像單元結合了高速攝像機和敏感的CCD芯片,讓整個晶片擁有完整的成像視野。高速攝像機在整個晶片上實現高幀速率,用於精確和詳細的檢查和計量。此外,KLA/TENCOR PHX DF 5.0還具有先進的照明和照明系統,可提供清晰對比的圖像。此精度非常適合進行高級臨界尺寸(CD)測量和缺陷表征。該機器還配備了先進的自動化工具,以實現高效操作。這項資產包括最新的復雜模式識別和圖像處理算法,可實現高分辨率的自動晶圓檢查。自動化模型結合快速成像,提供卓越的缺陷檢測功能。該設備可以檢測到使用常規檢測方法難以檢測到的極小缺陷。此外,該系統還具有集成的流程控制系統,允許在需要時進行流程優化和快速糾正。KLA PHX DF 5.0還配備了先進的表征算法,允許對缺陷進行準確、詳細的分類。這個單元允許靈活的參數設置,允許透徹的表征和分析甚至最復雜的晶片。它還具有集成的計量功能,允許精確的3D地形測量。此外,該機器還有一個現場分析模塊,可以實時表征晶圓缺陷。總體而言,TENCOR PHX DF 5.0是一種功能強大且可靠的晶圓測試和計量工具,可提供準確且高保真的結果。憑借其先進的成像、自動化和計量功能,資產能夠進行快速、可靠和高分辨率的晶圓檢查,從而實現最大程度的過程控制和優化。
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