二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #163303 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 163303
晶圓大小: 4" - 8"
優質的: 1994
Particle counter, 4" - 8"
Non-patterned surface inspection system
With Ar-laser
Defect sensitivity (PSL STD): 0.1 micron
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Haze resolution: 0.002 ppm
Accuracy: Within 1%
XY Coordinates
Argon ion laser: 488nm
NIST Calibrated
Lock down accessories
Blower assembly
MS-DOS 6.22, Windows 3.1
Main power module
Power supply module
Controller
Laser module
Indexer
Manuals
Power: 208 V, 60 Hz, 17 A
1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一個用於自動晶圓測試和計量的高精度平臺。KLA 6200 Surfscan設備實現了地形、薄膜厚度以及半導體晶片和基板缺陷的自動實時測量。TENCOR 6200 Surfscan系統配備了先進的CCD傳感器，可以捕獲半導體晶圓的精確3 D地形圖像。它可以測量樣品地形，用於精確的薄膜厚度測量和缺陷表征。設備對掃描頭的精確控制和軟件算法確保精確可靠的測量。PROMETRIX 6200 Surfscan機器能夠測量各種晶圓結構和層，包括金屬通孔、大間距間距互連，以及其他最大掃描場最大為13mm的復雜結構。該工具還能夠測量最大測量範圍為50nm-10mm的薄膜的波長相關特性。此外,6200 Surfscan資產還具有自動缺陷分析庫,可以檢測復雜的缺陷,如錯位、堆叠故障和線程循環。軟件可以快速識別和分類缺陷，使用戶能夠快速分析晶片的缺陷結構。此外，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan模型被設計為進行在線實時晶片表征，意味著晶片結構的細微變化可以被快速檢測和分類。它還具有與高分辨率級集成的平衡現場照明設備，以確保每次掃描的精度和準確性。最後，以3nm/sec的掃描速度，KLA 6200 Surfscan系統為自動晶圓測試和計量提供了高吞吐量。它有一系列自動化選項，可以減少晶圓表征所涉及的時間和復雜性，使其成為需要高度精確測量的半導體工藝的理想選擇。
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