二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293602390 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種先進的自動化表面計量設備,旨在測量半導體行業中使用的晶片的表面質量。它通過多渠道、多軸成像能力提供全面的晶圓測試和計量能力。KLA 6200 Surfscan系統用於測量表面粗糙度、輪廓和輪廓特性以及晶圓表面質量的其他關鍵方面。6200配備了模式識別單元，使用戶能夠從晶圓表面的圖像創建自己的測量。該機器可以與傳統的機械掃描技術或提供更高分辨率結果的先進幹涉技術結合使用。TENCOR 6200 Surfscan針對高吞吐量和高效使用進行了優化。它包括三個主要組成部分：高分辨率數碼相機、用於樣品掃描的精密x-y級和高分辨率成像工具。該相機用於捕獲晶圓表面的視頻圖像並生成其特征的圖像映射。精密級用於掃描晶片，方法是沿兩個軸相對於照相機移動晶片。然後,高分辨率成像資產從掃描曲面的每個點捕獲數據以創建2D圖像。該模型能夠測量低至亞納米精度的表面特征。該設備可產生非常準確和可重復的結果,而操作員的參與卻很少。它與廣泛的基板兼容，如單晶、多晶和外延矽，並且可以測量具有彎曲、平坦或階梯狀形狀的表面。6200 Surfscan易於使用,可通過Windows PC界面操作。圖形用戶界面使用戶能夠定義自己的測量參數，實時顯示結果，並生成工程分析的詳細報告。並且其自動化晶片測試和計量能力確保晶片能夠得到質量和準確性的驗證。總體而言,PROMETRIX 6200 Surfscan是評估半導體晶片表面質量的理想工具。該系統結合了高分辨率成像、自動掃描和實時報告功能,是半導體過程控制和質量保證的理想解決方案。