二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293621540 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,提供全面的測試能力和高精度。該系統旨在為用戶提供用於優化產品性能和最小化產量損失的重要數據。KLA 6200 Surfscan設備具有卓越的性能,擁有獲得專利的共對準、雙激光機器和卓越的光學器件,可提供優越的晶片對準、軸向和徑向測量,在各種模具尺寸、螺距大小和方向上精確到5微米以內。該工具還能夠每秒執行400多次全場測量。該資產通過EikonixPegasus計量控制軟件提供了可靠的過程控制,該軟件允許用戶設置特定參數並執行全面的現場、線性、一維和輪廓測量。該軟件還為高級工藝能力和產量分析提供了強大的分析工具。TENCOR 6200 Surfscan模型提供了一套晶圓探測功能，以滿足最具挑戰性的過程和應用的需求。其矢量探測和模具識別能力可以改進缺陷檢測、提高產量分析和加速數據分析。該設備還提供業界領先的測量吞吐量,最大（100毫米）靈敏度高達每秒2000個場,沒有額外的對準時間,同時提供全套OPC測量,包括高壓和低壓、HSOT和電子束。該設備還提供3D臨界尺寸（3DCMAD）測量，這項技術能夠測量金屬薄膜和成像低於衍射極限的特征。6200 Surfscan的最大測量速度為每秒1場,符合ISO和SEMI標準。總而言之,PROMETRIX 6200 Surfscan系統是最新的晶圓測試和計量設備,可為用戶提供可靠的過程控制和快速、準確的測量。其先進的技術和廣泛的探測能力使其非常適合廣泛的半導體測試應用。