二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293622692 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備,設計用於2D和3D晶圓檢測和計量。這種通用系統可用於晶圓塗層、蝕刻和CMP等多種半導體工藝步驟。該單元由一組探針和照相機構成,以不同放大倍數提供晶圓表面的詳細圖像。KLA 6200 Surfscan的主要功能包括自動圖像分析、統計過程控制(SPC)功能以及板載測量軟件,這些軟件可快速有效地評估晶圓的狀況。機器還可以掃描和測量最大300毫米大小的大型晶片。這種健壯的工具還可以解決各種缺陷層,圖像處理技術提供出色的線/空間測量、缺陷映射和叠加控制。該資產提供晶圓級測試、過程控制和數據分析,以及滿足客戶要求的高度可配置性。強大的柔性圖像檢測(FID)軟件提供復雜的自動測量和晶圓缺陷分類。FID使Surfscan 6200能夠識別、測量和分類缺陷,這可以大大減少加工時間,提高產量。該模型能夠手動和自動操作,並具有很高的準確性、可靠性和可重復性。TENCOR 6200 Surfscan是一款用途廣泛、功能強大的晶圓檢測、計量和過程監控工具。其自動化的測量和分析功能使其成為許多半導體制造業務的絕佳選擇。在質量保證和生產優化方面,這種設備是一種寶貴的資產。
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