二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078054 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種高性能晶圓測試和計量系統，旨在滿足半導體行業的苛刻要求。Surfscan 6200可以精確測量晶片的所有臨界參數，包括表面平面度、臨界尺寸、叠加配準和特征大小。該系統的核心是屢獲殊榮的專有Opticsair TM傳感器,與市場上其他同類系統相比,它提供了卓越的靈敏度和快速的動態範圍。它采用獨特的空心桿光學設計，通過顯著降低地面噪聲，減少振動，提高采樣精度。Opticsair TM傳感器可以測量任何形式的表面缺陷,並能夠表征特征大小和形狀。6200具有多種性能增強選項,包括具有高級映射和串行陣列功能的成像和測量處理器（IMP）,用於精確CD測量的最先進的Accu-Centric測量頭,以及具有全串行位置控制功能的自動晶圓跟蹤模塊。6200還為用戶提供了最多可集成四個獨立晶圓級的能力，從而在測量各種晶圓尺寸時允許高度的靈活性。Surfscan 6200還可以鏈接到其他設備,如SPC系統和自動處理程序,用於系統故障識別、分析和維修。除了標準晶圓測試功能外，6200還提供了針對過程控制的高級性能定位、用於改進性能監控的自動化處理控制（APC）模塊，並且可以與計量和分析工具集成。綜上所述,KLA 6200 Surfscan是一個先進的晶圓測試和計量系統,可提供無與倫比的速度、準確性和靈活性。它是尋求縮短上市時間、提高工藝一致性和降低晶圓成本的半導體制造商的理想選擇。