二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078060 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備，用於分析半導體器件。KLA 6200 Surfscan設計用於測量復雜的納米級結構上的各種參數,如表面光潔度、厚度、平坦度和摻雜濃度。該系統能夠執行多維計量，如地形、剖面和傾斜測量。TENCOR 6200 Surfscan配備了全自動、高分辨率的XY掃描儀。即使在拐角立方體和具有極端地形特征的測試結構失真的情況下，這也能提供精確和準確的測量。掃描寬度和速度是可調整的,以便執行從全場測量到局部掃描的任何測量任務。樣品可以直接放在掃描儀臺上進行簡單設置，也可以安裝在卡盤上進行更復雜的測量。該裝置可容納200毫米以下的基板。這臺機器還配備了2軸傾斜和旋轉級，在調整樣品取向的同時精確測量納米範圍內的角度和傾斜值。具有用戶可定義分辨率的CCD圖像傳感器允許對晶圓表面上的結構進行高對比度成像，可用於確定激活閾值、幾何形狀和其他參數。6200 Surfscan還提供高級分析功能。利用其高分辨率成像和計量測量，該工具可用於檢測過程轉移、測量可重復性、識別缺陷和分析統一產量。PROMETRIX 6200 Surfscan基於Windows,可集成到生產、測試和軟件環境中,以提高吞吐量和可靠性。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan晶片測試和計量資產為高級生產環境提供高質量的自動化晶片測量。它具有高精度掃描和成像功能以及先進的分析功能,可用於精確測量和改進產量控制。此模型的靈活性和精確度允許快速準確地反饋過程參數,並通過自動化傳統的手動任務。