二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078061 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan設備是晶圓測試和計量系統,針對各種設備和過程監控應用進行了優化。它結合了光學散射法、橢圓偏振法、化學機械平面化（CMP）和計量性能評價等多種技術，實現了優越的晶圓表面表征以及廣泛的工藝和產量相關測量。KLA 6200 Surfscan采用先進的高分辨率光學散射測量單元來檢測和表征亞微米表面地形。這臺機器能夠測量分辨率低至0.3微米的特性，提供準確和可重復的結果。此外,TENCOR 6200 Surfscan還提供了一個動態平臺,用於各種橢圓偏振配置和技術,以及為精確測量復雜晶圓幾何形狀而優化的高級相位調制方法。該工具還具有多種強大的計量能力，如三維地形重建（ET），以獲得對晶圓整體形狀的洞察。它還具有直觀的軟件用戶界面,允許精確的測試設置配置,包括重復（串聯）和全面（批處）測量。6200 Surfscan還提供了完整的CMP測量範圍，如靜態表面形態分析（SSMA）、劃痕映射、巨粒子檢測和粘附測量。這些測量使資產能夠檢測弱點和缺陷,並量化主軸增長以改進過程控制。此外,該模型還可用於處理後缺陷檢查和性能測試（如探測電壓和電流）,以確保設備正常工作。PROMETRIX 6200 Surfscan具備這些強大的功能,是研究和生產實驗室的理想工具,可提供快速、可靠且有見地的晶圓測試和計量。它使用戶能夠檢測到其他技術無法檢測到的微小表面特征,從而能夠有效監控晶圓過程並提高總體產量和制造效率。