二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9152152 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於提供高速、高精度晶圓測試和計量。KLA 6200 Surfscan是一款配備了許多先進功能的尖端系統，如電容式磁頭、三軸級以及先進的100 mm工業晶片處理器。該單元能夠測試各種尺寸的晶片，包括200、300和400毫米。該機采用高精度、三軸級刀具設計，行程範圍高達150毫米，分辨率小於0.2mm，允許精確對準和絕對定位。它還為精確探測和精確數據采集提供了廣泛的動態範圍。資產還配備了先進的電容式磁頭，可提供更高的靈敏度和更高的動態範圍，從而實現更高的精度測量。它能夠在5納米到15微米的範圍內進行測量，分辨率高達0.01納米。TENCOR 6200 Surfscan有一個先進的100 mm工業晶片處理程序，可以對晶片進行邊緣檢測和精確檢查。載荷鎖定深度可達200 mm，晶圓采集和傳輸精度± 3.0 μ m。它還能夠提供多個晶片的粗糙和精細對齊,最大可達200毫米。該模型有一個自動校準設備，可以根據不同的測量值進行調整，並允許調整諸如聚焦、曝光、增益和偏移等參數。該系統還配備了用戶友好的圖形用戶界面，允許對參數和設置進行控制和監控。此外,PROMETRIX 6200 Surfscan還提供了多種數據分析選項,使用戶能夠以多種方式分析數據,包括峰值分析、獨立庫、配方比較等。這使用戶能夠快速檢測和診斷其晶片中的故障。總體而言,6200 Surfscan是一款前沿設備,旨在提供高速、高精度的晶圓測試和計量。除了其精確度和準確性外，它還提供了一系列功能，使用戶能夠快速診斷其晶片的問題。