二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9159142 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,旨在測量和分析被測設備中的表面特征,如微觀突起（或階段）和凹坑（DUT）。該系統的采樣率高達10 kHz，光束光斑大小為10 µm，分辨率高達1 µm。該單元由三個主要組件組成：容納光學、電子和機械的掃描頭；測量引擎；以及分析用戶界面。掃描頭負責收集和生成計量數據，並配有激光二極管掃描DUT晶片。激光發出的光被聚焦，然後反射回掃描頭，產生DUT表面地形的圖像。此圖像隨後由測量引擎處理，該引擎獲取圖像數據並執行過濾和優化算法。然後將數據上載到分析用戶界面,該界面用於查看掃描配置文件和處理後的數據。可以從掃描輪廓中提取諸如步高、凹坑大小、曲面粗糙度和代表性不足的特征等參數。此外，該機配備了「SmartScan」技術，該技術基於曲面分析和代碼驅動優化算法的集成。此技術增強了工具優化產量的能力,並減少了對昂貴的參數化測量的需求。還提供了圖形用戶界面（GUI）以幫助操作資產以及查看和分析數據。總之，KLA 6200 Surfscan是一種可靠高效的晶圓測試和計量模型，以高速方式提供高精度結果。其「SmartScan」技術、圖形用戶界面、掃描速率等特點使其成為確定基板微觀特征和缺陷的寶貴工具。